应用领域
为客户提供高精度、高可靠性的热成像解决方案
助力各领域的技术创新与发展
科学级制冷型红外热像仪凭借其高灵敏度和宽光谱响应能力,使其成为半导体制造和研究过程中不可或缺的工具,有效提高芯片的生产良率和可靠性:
1. 半导体制造过程监控
晶圆加热均匀性检测:在芯片制造过程中,热处理(如退火、扩散、化学气相沉积等)是关键工艺。
等离子体蚀刻温度监控:等离子刻蚀过程中,晶圆表面可能受到热影响,温度异常可能导致工艺失效。
科学级制冷型红外热像仪可以高精度测量晶圆表面的温度分布,确保温度均匀性,避免局部过热或过冷导致的芯片缺陷。
2. 光刻工艺温度监控
光刻胶的曝光和显影对温度非常敏感,温度不均匀会影响光刻胶的溶解性和图案精度。科学级制冷型红外热像仪能够在极低噪声的条件下检测温度变化,确保光刻过程的稳定性。
3. 微焊接和封装检测
芯片封装过程中,微焊接(如倒装芯片焊接、微凸点焊接)要求极高的温度控制,过高或过低的温度都会影响焊接质量。科学级制冷型红外热像仪能够对焊接过程进行实时监测,确保焊点质量。
4. 芯片热缺陷检测与分析
热缺陷检测:芯片在运行过程中可能会出现局部过热现象,如短路、击穿、过流等问题。科学级制冷型红外热像仪能够识别芯片表面的微小温升,配合外同步和锁相算法,能够有效帮助工程师定位缺陷,提高故障分析的效率。
低功耗器件热管理:现代芯片设计追求低功耗,精确的热分析可以帮助优化芯片的散热设计,提高可靠性。
5. 极端环境测试
许多芯片需要在高低温环境下进行可靠性测试,如航空航天、军工应用的半导体器件。制冷型红外热像仪能够在低温或复杂环境下进行精确测温,确保芯片的性能符合要求。
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